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扫描式激光形貌仪

SCALA扫描式激光形貌仪是模块式的。包括一个光学扫描器,安装于温度湿度都可控的腔室里。基本配置可实现二维轮廓的静态特征,及通过热噪声和单点测量来确定的谐振频率。除了基本配置,SCALA还可配备如下三个工作模块: 动态模块液体测量模块(3D)三维成像模块

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